Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry
  • Metaadatok
Tartalom: http://real.mtak.hu/5953/
Archívum: REAL
Gyűjtemény: Status = Published
Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika
Type = Thesis
Cím:
Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry
Létrehozó:
Petrik, Péter
Dátum:
1999
Téma:
QC Physics / fizika
Nyelv:
angol
Típus:
Thesis
NonPeerReviewed
info:eu-repo/semantics/other
Formátum:
text
Azonosító:
Petrik, Péter (1999) Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry. PhD thesis, Budapesti Műszaki Egyetem ; MTA MFA.
Kapcsolat: