A félvezetőiparban tisztításra használt perfluor-etán visszanyerése
  • Metaadatok
Tartalom: http://hdl.handle.net/10890/19471
Archívum: Műegyetem Digitális Archívum
Gyűjtemény: 7. További kiadványok
Műszaki gazdasági információ
Műszaki információ. Hulladékok és másodnyersanyagok hasznosítása
Cím:
A félvezetőiparban tisztításra használt perfluor-etán visszanyerése
Kiadó:
OMIKK
Dátum:
2022-10-21T09:46:19Z
2022-10-21T09:46:19Z
2005
Nyelv:
magyar
Típus:
Folyóiratcikk
Formátum:
application/pdf
Azonosító: