Anyag ion kölcsönhatás vizsgálata a fókuszált ionsugaras megmunkálásban
  • Metaadatok
Tartalom: http://hdl.handle.net/10831/92016
Archívum: EDIT
Gyűjtemény: Szakdolgozatok
Szakdolgozatok (TTK)
Szakdolgozatok (Fizikai Intézet)
Cím:
Anyag ion kölcsönhatás vizsgálata a fókuszált ionsugaras megmunkálásban
Létrehozó:
Pozsár Dániel Tibor
Közreműködő:
Dankházi Zoltán Gyula
Dátum:
2022-06-05
Téma:
szakdolgozat
anyag ion kölcsönhatás
Bradley-Harper modell
mikropillár
felületi hullámosság
lézeres anyagmegmunkálás
FIB
SEM
Tartalmi leírás:
INST: L_200
A szakdolgozatom célja kapcsolatba hozni ezt a jelenséget egy korábbi elméleti leírással (Bradley, R. Mark, and James M. E. Harper. "Theory of ripple topography induced by ion bombardment.") és egy lézeresen megmunkált (1 1 1) orientációjú réz egykristály mintán megállapítani a fókuszált ionsugaras megmunkálás optimális paramétereit, amivel elérhető a mikropillár aljáig sima fal.
Nyelv:
magyar
Típus:
info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
hallgatói dolgozat
Formátum:
application/pdf
Azonosító:
elte:ET209D
Létrehozó:
info:eu-repo/semantics/closedAccess