Reaktív plazmaporlasztási folyamat automatizálása

Automation of the reactive magnetron sputtering process

Fekete, Albert-Zsombor

Erdélyi Múzeum-Egyesület

2017-07-25T06:55:17Z

2017-07-25T06:55:17Z

2016

2017

reaktív plazmaporlasztási folyamat

beágyazott rendszerek

hálózat

kommunikációs protokoll

beágyazott SNTP kliens

reactive magnetron sputtering

embedded systems,

network

communication protocol

embedded SNTP client

A különféle vékonyréteg-bevonatok előállítására alkalmazott reaktív magnetronos plazmaporlasztási eljárás rendkívül instabil folyamat, amely szükségessé teszi a szabályozást. A dolgozat célja egy sajátos többszintű hierarchikus irányítási rendszer felépítésének ismertetése, amely nagymértékben hozzájárul a porlasztási folyamat valamennyi paraméterének a méréséhez, feldolgozásához, tárolásához és szabályozásához. A dolgozat hangsúlyosan tárgyalja a digitális kommunikációs protokollt és az osztott rendszer elemeinek szinkronizálására javasolt mechanizmust.

The reactive magnetron plasma sputtering process used to create various thin film coatings is a highly unstable process, which requires control. The aim of the paper is to present the structure of a particular multilayer hierarchical control system, which contribuits to the measuring, processing, data archiving and the control of various interdependent parameters of the sputtering process. The paper presents in detail the digital communication protocol and proposes a mechanism for syncronization of different units of the distribuited system.

magyar

article

PDF

application/pdf

http://hdl.handle.net/10598/30089

Erdélyi Múzeum-Egyesület

Műszaki tudományos közlemények, 6.

Erdélyi Múzeum-Egyesület