Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry

Tartalom:	https://real-phd.mtak.hu/20/
Archívum:	REAL-PhD
Gyűjtemény:	Status = Defended Subject = Q Science / természettudomány: QC Physics / fizika Type = Thesis University = BME ; MTA MFA
Cím:	Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry
Létrehozó:	Petrik, Péter
Dátum:	1999
Téma:	QC Physics / fizika
Nyelv:	angol
Típus:	Thesis NonPeerReviewed
Formátum:	text
Azonosító:	https://real-phd.mtak.hu/20/1/petrik_phd.pdf Petrik, Péter (1999) Characterization of polysilicon thin films using in situ and ex situ spectroscopic ellipsometry. PhD thesis, BME ; MTA MFA.
Kapcsolat:	https://real-phd.mtak.hu/20/

TUdományos DOkumentumok Közös Keresője